Microelectrónica y nanoelectrónica
Creación rápida de prototipos de dispositivos microelectrónicos y nanoelectrónicos
-
Description
-
Los avances en microelectrónica se basan continuamente en la reducción del tamaño de los dispositivos electrónicos y en la incorporación de nuevos materiales en las regiones activas para conseguir velocidades cada vez mayores y nuevas funcionalidades en las estructuras de los dispositivos. Esta exploración de las arquitecturas de los dispositivos y el uso de nuevos materiales requiere un enfoque de creación rápida de prototipos, que permita probar e implementar eficazmente los cambios de diseño.
Las herramientas de litografía sin máscara, como las series MLA, DWL y VPG+ de Heidelberg Instruments, han surgido como una tecnología transformadora en la litografía microelectrónica, que ofrece numerosas ventajas en comparación con la fotolitografía tradicional. Su alta resolución y su funcionamiento sin máscaras permiten el patronaje preciso de intrincadas características a microescala, impulsando los límites de la miniaturización. Al eliminar las máscaras físicas, se reducen los costes de producción y es posible la creación rápida de prototipos, lo que acelera los ciclos de desarrollo. La flexibilidad de la tecnología permite la personalización sobre la marcha, adaptando cada dispositivo de la oblea a los requisitos específicos.
El NanoFrazor facilita la nanoelectrónica combinando la Litografía de Sonda de Barrido Térmico (t-SPL) con la Sublimación Láser Directa. Esta técnica de nanolitografía térmica permite crear nanoestructuras en las regiones más críticas de los dispositivos con las resoluciones más altas. La incorporación de la sublimación directa por láser de las mismas resistivos térmicos permite la escritura eficaz de trazas y contactos eléctricos. Como resultado, el NanoFrazor se ha convertido en una opción ideal para la fabricación de dispositivos nanoelectrónicos, sobre todo en aplicaciones como la electrónica cuántica y la detección molecular.
-
Requirements
-
-
Solutions
-
Los avances en microelectrónica se basan continuamente en la reducción del tamaño de los dispositivos electrónicos y en la incorporación de nuevos materiales en las regiones activas para conseguir velocidades cada vez mayores y nuevas funcionalidades en las estructuras de los dispositivos. Esta exploración de las arquitecturas de los dispositivos y el uso de nuevos materiales requiere un enfoque de creación rápida de prototipos, que permita probar e implementar eficazmente los cambios de diseño.
Las herramientas de litografía sin máscara, como las series MLA, DWL y VPG+ de Heidelberg Instruments, han surgido como una tecnología transformadora en la litografía microelectrónica, que ofrece numerosas ventajas en comparación con la fotolitografía tradicional. Su alta resolución y su funcionamiento sin máscaras permiten el patronaje preciso de intrincadas características a microescala, impulsando los límites de la miniaturización. Al eliminar las máscaras físicas, se reducen los costes de producción y es posible la creación rápida de prototipos, lo que acelera los ciclos de desarrollo. La flexibilidad de la tecnología permite la personalización sobre la marcha, adaptando cada dispositivo de la oblea a los requisitos específicos.
El NanoFrazor facilita la nanoelectrónica combinando la Litografía de Sonda de Barrido Térmico (t-SPL) con la Sublimación Láser Directa. Esta técnica de nanolitografía térmica permite crear nanoestructuras en las regiones más críticas de los dispositivos con las resoluciones más altas. La incorporación de la sublimación directa por láser de las mismas resistivos térmicos permite la escritura eficaz de trazas y contactos eléctricos. Como resultado, el NanoFrazor se ha convertido en una opción ideal para la fabricación de dispositivos nanoelectrónicos, sobre todo en aplicaciones como la electrónica cuántica y la detección molecular.
Application images
suitable Systems
MLA 150
- Alineador sin máscara
La herramienta sin máscara más rápida para prototipado rápido, la alternativa a los alineadores de máscara. Perfecta para la litografía binaria estándar.
MLA 300
- Alineador sin máscara
Optimizada para una producción industrial flexible con la máxima precisión y una integración perfecta en las líneas de producción industrial.
DWL 66+
- Sistema de litografía láser de escritura directa
Nuestro sistema más versátil para investigación y creación de prototipos, con resolución variable y amplia selección de opciones.
NanoFrazor
- Sistema de litografía de sonda de barrido térmico
Versátil y modular herramienta que combina Sonda de exploración térmica Litografía, Directo Sublimación Láser Directa avanzada automatización para corte-vanguardia I+D.
VPG+ 200, VPG+ 400 y VPG+ 800
- Generador de patrones de volumen
Potentes herramientas de producción para fotomáscaras y microestructuras estándar en resistivos i-line.
VPG 300 DI
- Paso a paso sin máscara
Captador directo de imágenes sin máscara para microestructuras de alta precisión y resolución.
ULTRA
- Escritor de máscaras láser
Una herramienta diseñada específicamente para producir fotomáscaras semiconductoras maduras.